计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2002年
3期
6-9
,共4页
孙艳%孙锋%杨玉孝%谭玉山
孫豔%孫鋒%楊玉孝%譚玉山
손염%손봉%양옥효%담옥산
光纤%干涉%频谱%光程差
光纖%榦涉%頻譜%光程差
광섬%간섭%빈보%광정차
在"Y"型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的基片,入射光在光纤-薄膜层-空气的界面处两次反射,由于两束反射光之间存在光程差,所以反射光发生干涉.不需要测量干涉条纹,仅通过对反射光谱的分析计算,可以测出薄膜的厚度以及折射率的数值.在单晶硅基片上做非晶的PSiO2膜的甩膜实验中使用该方法测试PSiO2膜的厚度,实验证明,该方法测量精度高、速度快,对薄膜无破坏作用.用卤素白光和红光的准单色光(600nm～860nm)作为光源,膜厚范围为0.5到几十微米,测量误差小于40nm.进行了实验验证,给出了对噪声的处理方法.
在"Y"型光纖一箇耑麵上垂直放置塗有透明薄膜的基片,入射光在光纖-薄膜層-空氣的界麵處兩次反射,由于兩束反射光之間存在光程差,所以反射光髮生榦涉.不需要測量榦涉條紋,僅通過對反射光譜的分析計算,可以測齣薄膜的厚度以及摺射率的數值.在單晶硅基片上做非晶的PSiO2膜的甩膜實驗中使用該方法測試PSiO2膜的厚度,實驗證明,該方法測量精度高、速度快,對薄膜無破壞作用.用滷素白光和紅光的準單色光(600nm～860nm)作為光源,膜厚範圍為0.5到幾十微米,測量誤差小于40nm.進行瞭實驗驗證,給齣瞭對譟聲的處理方法.
재"Y"형광섬일개단면상수직방치도유투명박막적기편,입사광재광섬-박막층-공기적계면처량차반사,유우량속반사광지간존재광정차,소이반사광발생간섭.불수요측량간섭조문,부통과대반사광보적분석계산,가이측출박막적후도이급절사솔적수치.재단정규기편상주비정적PSiO2막적솔막실험중사용해방법측시PSiO2막적후도,실험증명,해방법측량정도고、속도쾌,대박막무파배작용.용서소백광화홍광적준단색광(600nm～860nm)작위광원,막후범위위0.5도궤십미미,측량오차소우40nm.진행료실험험증,급출료대조성적처리방법.
