太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2002年
2期
138-144
,共7页
施兆顺%陈庭金%苏红兵%涂洁磊%张跃%胡志华
施兆順%陳庭金%囌紅兵%塗潔磊%張躍%鬍誌華
시조순%진정금%소홍병%도길뢰%장약%호지화
电化学沉积%GaAs薄膜%电极电位
電化學沉積%GaAs薄膜%電極電位
전화학침적%GaAs박막%전겁전위
通过物理和化学的理论分析及实验研究,阐述了从简单无机盐溶液中采用电化学方法在SnO2导电玻璃等衬底材料上沉积原子化学计量比接近1∶1的GaAs薄膜过程中所受的各种工艺条件制约和影响因素,从而获得最佳的沉积工艺条件.该研究方法有助于用电化学方法沉积化合物半导体薄膜材料及薄膜性能改善,为规模化生产的工艺条件设计和薄膜的应用提供了理论根据.
通過物理和化學的理論分析及實驗研究,闡述瞭從簡單無機鹽溶液中採用電化學方法在SnO2導電玻璃等襯底材料上沉積原子化學計量比接近1∶1的GaAs薄膜過程中所受的各種工藝條件製約和影響因素,從而穫得最佳的沉積工藝條件.該研究方法有助于用電化學方法沉積化閤物半導體薄膜材料及薄膜性能改善,為規模化生產的工藝條件設計和薄膜的應用提供瞭理論根據.
통과물리화화학적이론분석급실험연구,천술료종간단무궤염용액중채용전화학방법재SnO2도전파리등츤저재료상침적원자화학계량비접근1∶1적GaAs박막과정중소수적각충공예조건제약화영향인소,종이획득최가적침적공예조건.해연구방법유조우용전화학방법침적화합물반도체박막재료급박막성능개선,위규모화생산적공예조건설계화박막적응용제공료이론근거.
