光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2002年
1期
50-55
,共6页
金刚石抛光%热化学抛光%原子力显微镜%X射线光电子能谱
金剛石拋光%熱化學拋光%原子力顯微鏡%X射線光電子能譜
금강석포광%열화학포광%원자력현미경%X사선광전자능보
在完成了金刚石表面的热化学抛光后,应用原子力显微镜(AFM)观测加工后表面形成的微观结构,并用扫描电子显微镜(SEM)加以校验.借助X射线光电子能谱(XPS)技术对采样所得铁盘的两个不同区域进行多方面的对比分析,初步确定了抛光过程中发生的理化反应和结果生成物.并在此基础上对热化学抛光各阶段的工作机理作了深入探讨,明确了研磨表面平整、出现凹槽等现象的原因.结论与实验分析结果能够较好地吻合.
在完成瞭金剛石錶麵的熱化學拋光後,應用原子力顯微鏡(AFM)觀測加工後錶麵形成的微觀結構,併用掃描電子顯微鏡(SEM)加以校驗.藉助X射線光電子能譜(XPS)技術對採樣所得鐵盤的兩箇不同區域進行多方麵的對比分析,初步確定瞭拋光過程中髮生的理化反應和結果生成物.併在此基礎上對熱化學拋光各階段的工作機理作瞭深入探討,明確瞭研磨錶麵平整、齣現凹槽等現象的原因.結論與實驗分析結果能夠較好地吻閤.
재완성료금강석표면적열화학포광후,응용원자력현미경(AFM)관측가공후표면형성적미관결구,병용소묘전자현미경(SEM)가이교험.차조X사선광전자능보(XPS)기술대채양소득철반적량개불동구역진행다방면적대비분석,초보학정료포광과정중발생적이화반응화결과생성물.병재차기출상대열화학포광각계단적공작궤리작료심입탐토,명학료연마표면평정、출현요조등현상적원인.결론여실험분석결과능구교호지문합.
