新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究
신형실온중원파단홍외탐측기적관건공예연구
Research of Technology for Novel Uncooled Infrared Detector
  • 万方数据
    仪表技术与传感器 의표기술여전감기
    INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
    2004年 4期 3-4 ,共2页

    杨道虹%徐晨%董典红%李兰%吴畯苗%张建铭%阳启明%邹德恕%沈光地

    양도홍%서신%동전홍%리란%오준묘%장건명%양계명%추덕서%침광지

    MEMS%腐蚀%键合%光刻 MEMS%腐蝕%鍵閤%光刻
    MEMS%부식%건합%광각
    介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐蚀停止技术制备超薄敏感硅膜以及薄膜的疏水处理等关键工艺.还对各环节所遇到的问题和其相应的解决方法进行了详细地阐述.
    개소료일충기우MEMS기술적신형실온중원홍외파단규기전용식홍외탐측기원리화제작공예과정,병상세개소료침대단면광각궤이채용적대준공쌍면대준화건합대준기술、농붕확산EPW부식정지기술제비초박민감규막이급박막적소수처리등관건공예.환대각배절소우도적문제화기상응적해결방법진행료상세지천술.
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