真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
3期
203-207
,共5页
张海欧%裴元吉%王荣%丁延伟
張海歐%裴元吉%王榮%丁延偉
장해구%배원길%왕영%정연위
脉冲切割磁铁 涂层 Al2O3 吸附 孔隙 XRD XPS
脈遲切割磁鐵 塗層 Al2O3 吸附 孔隙 XRD XPS
맥충절할자철 도층 Al2O3 흡부 공극 XRD XPS
合肥光源的脉冲切割磁铁表面用等离子体喷涂了一层A12O3,发现这种涂层表面出气率较小,这种特性对于维持注入段的系统真空度,提高束流寿命很有好处.本文的工作是制备了涂层样品,进行了真空环境下的吸附实验,同时使用了SEM、XRD、ASAP、XPS等测试手段分析涂层的微观特性与吸附成因.结果表明涂层具有多孔表面特性,晶相结构、比表面积和孔径分布都发生了变化,得到了250℃烤24h处理后在室温条件下涂层吸附能力的定量结果,对气体分子的吸附形态做了初步探讨.
閤肥光源的脈遲切割磁鐵錶麵用等離子體噴塗瞭一層A12O3,髮現這種塗層錶麵齣氣率較小,這種特性對于維持註入段的繫統真空度,提高束流壽命很有好處.本文的工作是製備瞭塗層樣品,進行瞭真空環境下的吸附實驗,同時使用瞭SEM、XRD、ASAP、XPS等測試手段分析塗層的微觀特性與吸附成因.結果錶明塗層具有多孔錶麵特性,晶相結構、比錶麵積和孔徑分佈都髮生瞭變化,得到瞭250℃烤24h處理後在室溫條件下塗層吸附能力的定量結果,對氣體分子的吸附形態做瞭初步探討.
합비광원적맥충절할자철표면용등리자체분도료일층A12O3,발현저충도층표면출기솔교소,저충특성대우유지주입단적계통진공도,제고속류수명흔유호처.본문적공작시제비료도층양품,진행료진공배경하적흡부실험,동시사용료SEM、XRD、ASAP、XPS등측시수단분석도층적미관특성여흡부성인.결과표명도층구유다공표면특성,정상결구、비표면적화공경분포도발생료변화,득도료250℃고24h처리후재실온조건하도층흡부능력적정량결과,대기체분자적흡부형태주료초보탐토.
