仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2005年
12期
1298-1301
,共4页
张敏%周鑫玲%王向军%高玉成
張敏%週鑫玲%王嚮軍%高玉成
장민%주흠령%왕향군%고옥성
光散射%尘埃粒子检测%流量传感器
光散射%塵埃粒子檢測%流量傳感器
광산사%진애입자검측%류량전감기
介绍了一种自行研制的尘埃粒子检测仪的测量原理和工作系统,该仪器用于检测洁净室中空气的尘埃粒子数和监测洁净度级别.尘埃粒子检测仪基于光散射原理,工作系统主要分为传感器、电路、气路和中央控制四部分.选用了直角散射光学传感器接收信号光,经光电转换和电路处理,可获得环境的尘埃粒子数目和尺寸信息.气路部分中采用了先进的微桥气流质量传感器,能够精确控制气体的采样量,通过单片机反馈控制,进一步提高了仪器的稳定性和精度.试验数据证实了该尘埃粒子检测仪具有市场上同类检测仪器的检测能力.
介紹瞭一種自行研製的塵埃粒子檢測儀的測量原理和工作繫統,該儀器用于檢測潔淨室中空氣的塵埃粒子數和鑑測潔淨度級彆.塵埃粒子檢測儀基于光散射原理,工作繫統主要分為傳感器、電路、氣路和中央控製四部分.選用瞭直角散射光學傳感器接收信號光,經光電轉換和電路處理,可穫得環境的塵埃粒子數目和呎吋信息.氣路部分中採用瞭先進的微橋氣流質量傳感器,能夠精確控製氣體的採樣量,通過單片機反饋控製,進一步提高瞭儀器的穩定性和精度.試驗數據證實瞭該塵埃粒子檢測儀具有市場上同類檢測儀器的檢測能力.
개소료일충자행연제적진애입자검측의적측량원리화공작계통,해의기용우검측길정실중공기적진애입자수화감측길정도급별.진애입자검측의기우광산사원리,공작계통주요분위전감기、전로、기로화중앙공제사부분.선용료직각산사광학전감기접수신호광,경광전전환화전로처리,가획득배경적진애입자수목화척촌신식.기로부분중채용료선진적미교기류질량전감기,능구정학공제기체적채양량,통과단편궤반궤공제,진일보제고료의기적은정성화정도.시험수거증실료해진애입자검측의구유시장상동류검측의기적검측능력.
