现代科学仪器
現代科學儀器
현대과학의기
CHINA RURAL WATER AND HYDROPOWER
2008年
4期
97-101
,共5页
罗庆洪%孙丽丽%杨会生%王燕斌%陆永浩%于栋利
囉慶洪%孫麗麗%楊會生%王燕斌%陸永浩%于棟利
라경홍%손려려%양회생%왕연빈%륙영호%우동리
显微结构%中频反应磁控溅射%(Ti%Al)N多层薄膜
顯微結構%中頻反應磁控濺射%(Ti%Al)N多層薄膜
현미결구%중빈반응자공천사%(Ti%Al)N다층박막
使用独特的镶拼矩形TiAl靶,用中频反应磁控溅射方法,采用周期性改变靶电流的方法在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了(Ti,Al)N多层薄膜.利用场发射扫描电镜、纳米硬度仪和x射线衍射仪等方法研究了(Ti,Al)N多层薄膜组织结构、硬度和膜基结合性能.结果表明,制备的(Ti,Al)N多层薄膜硬度略低于20GPa.弹性模量均大于230GPa,薄膜的临界载荷均大于50N;多层薄膜有一定的择优取向,且择优取向随着靶电流周期性的改变而有所变化.同时发现,(Ti,Al)N多层薄膜硬度是结构、界面和择优取向共同作用的结果.
使用獨特的鑲拼矩形TiAl靶,用中頻反應磁控濺射方法,採用週期性改變靶電流的方法在高速鋼(W18Cr4V)基體上沉積瞭(Ti,Al)N多層薄膜.利用場髮射掃描電鏡、納米硬度儀和x射線衍射儀等方法研究瞭(Ti,Al)N多層薄膜組織結構、硬度和膜基結閤性能.結果錶明,製備的(Ti,Al)N多層薄膜硬度略低于20GPa.彈性模量均大于230GPa,薄膜的臨界載荷均大于50N;多層薄膜有一定的擇優取嚮,且擇優取嚮隨著靶電流週期性的改變而有所變化.同時髮現,(Ti,Al)N多層薄膜硬度是結構、界麵和擇優取嚮共同作用的結果.
사용독특적양병구형TiAl파,용중빈반응자공천사방법,채용주기성개변파전류적방법재고속강(W18Cr4V)기체상침적료(Ti,Al)N다층박막.이용장발사소묘전경、납미경도의화x사선연사의등방법연구료(Ti,Al)N다층박막조직결구、경도화막기결합성능.결과표명,제비적(Ti,Al)N다층박막경도략저우20GPa.탄성모량균대우230GPa,박막적림계재하균대우50N;다층박막유일정적택우취향,차택우취향수착파전류주기성적개변이유소변화.동시발현,(Ti,Al)N다층박막경도시결구、계면화택우취향공동작용적결과.
