超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2009年
6期
17-21
,共5页
张东灿%沈彬%孙方宏%彭东辉
張東燦%瀋彬%孫方宏%彭東輝
장동찬%침빈%손방굉%팽동휘
金刚石薄膜%复合预处理方法%表面粗糙度%附着力%涂层
金剛石薄膜%複閤預處理方法%錶麵粗糙度%附著力%塗層
금강석박막%복합예처리방법%표면조조도%부착력%도층
采用偏压增强热丝化学气相沉积法(BE-HFCVD),以WC-Co硬质合金圆柱体为衬底沉积金刚石薄膜.研究了提高金刚石薄膜形核密度和涂层附着力的新型复合衬底预处理方法,研究结果表明,采用新型复合衬底预处理工艺后,衬底表面凸凹不平,粗糙度达到366nm,相比未采用预处理工艺的表面粗糙度94.5nm,可以大大提高金刚石形核密度,并且处理后钻的成分含量从6%减低到0.4%,在很大程度上提高了金刚石涂层与村底之间的附着强度.研览结果还表明制备的金刚石涂层均匀且具有较好的表面质量.
採用偏壓增彊熱絲化學氣相沉積法(BE-HFCVD),以WC-Co硬質閤金圓柱體為襯底沉積金剛石薄膜.研究瞭提高金剛石薄膜形覈密度和塗層附著力的新型複閤襯底預處理方法,研究結果錶明,採用新型複閤襯底預處理工藝後,襯底錶麵凸凹不平,粗糙度達到366nm,相比未採用預處理工藝的錶麵粗糙度94.5nm,可以大大提高金剛石形覈密度,併且處理後鑽的成分含量從6%減低到0.4%,在很大程度上提高瞭金剛石塗層與村底之間的附著彊度.研覽結果還錶明製備的金剛石塗層均勻且具有較好的錶麵質量.
채용편압증강열사화학기상침적법(BE-HFCVD),이WC-Co경질합금원주체위츤저침적금강석박막.연구료제고금강석박막형핵밀도화도층부착력적신형복합츤저예처리방법,연구결과표명,채용신형복합츤저예처리공예후,츤저표면철요불평,조조도체도366nm,상비미채용예처리공예적표면조조도94.5nm,가이대대제고금강석형핵밀도,병차처리후찬적성분함량종6%감저도0.4%,재흔대정도상제고료금강석도층여촌저지간적부착강도.연람결과환표명제비적금강석도층균균차구유교호적표면질량.
