传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
10期
9-10
,共2页
程迎国%周明军%郝玉芳%朱保峰%刘智敏
程迎國%週明軍%郝玉芳%硃保峰%劉智敏
정영국%주명군%학옥방%주보봉%류지민
氧气传感器%极限电流%气体内腔室
氧氣傳感器%極限電流%氣體內腔室
양기전감기%겁한전류%기체내강실
介绍了一种制作陶瓷内腔室的工艺方法,该方法可以应用于制作氧化锆氧气传感器内部的气体腔室,包含极限电流氧气传感器、分压型氧气传感器等,并可以对腔室体积自由控制,屏弃了传统方法利用玻璃封接来实现的工艺步骤.以极限电流氧气传感器为例,研究了内腔室结构对传感器的性能影响,对提高氧气传感器的响应时间和可靠性具有指导意义.
介紹瞭一種製作陶瓷內腔室的工藝方法,該方法可以應用于製作氧化鋯氧氣傳感器內部的氣體腔室,包含極限電流氧氣傳感器、分壓型氧氣傳感器等,併可以對腔室體積自由控製,屏棄瞭傳統方法利用玻璃封接來實現的工藝步驟.以極限電流氧氣傳感器為例,研究瞭內腔室結構對傳感器的性能影響,對提高氧氣傳感器的響應時間和可靠性具有指導意義.
개소료일충제작도자내강실적공예방법,해방법가이응용우제작양화고양기전감기내부적기체강실,포함겁한전류양기전감기、분압형양기전감기등,병가이대강실체적자유공제,병기료전통방법이용파리봉접래실현적공예보취.이겁한전류양기전감기위례,연구료내강실결구대전감기적성능영향,대제고양기전감기적향응시간화가고성구유지도의의.
