光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
3期
514-519
,共6页
变包含角平面光栅单色仪%谱学显微光束线%光斑水平漂移%误差分析
變包含角平麵光柵單色儀%譜學顯微光束線%光斑水平漂移%誤差分析
변포함각평면광책단색의%보학현미광속선%광반수평표이%오차분석
为提高上海光源搭建的国内首条软X射线谱学显微光束线站的整体性能,分析了其分光装置一变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素,推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系,并结合具体要求进行了误差分配.针对光斑水平角漂移重复精度的检测,采用自准直原理,构建了测试系统.利用该系统,完成了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度的离线检测,其结果为0.67″,满足设计指标1″的要求.对安装调试后的束线进行了总体性能测试,结果均满足谱学显微设计和使用要求.由此表明,提出的对谱学显微光束线光斑水平漂移误差来源的分析及检测方法,有效保证了束线性能的实现.
為提高上海光源搭建的國內首條軟X射線譜學顯微光束線站的整體性能,分析瞭其分光裝置一變包含角平麵光柵單色儀在波長掃描過程中影響譜學顯微光束線光斑水平漂移的各箇因素,推導齣瞭各因素與光斑水平漂移的傳遞關繫,併結閤具體要求進行瞭誤差分配.針對光斑水平角漂移重複精度的檢測,採用自準直原理,構建瞭測試繫統.利用該繫統,完成瞭譜學顯微光束線站光斑水平漂移重複精度的離線檢測,其結果為0.67″,滿足設計指標1″的要求.對安裝調試後的束線進行瞭總體性能測試,結果均滿足譜學顯微設計和使用要求.由此錶明,提齣的對譜學顯微光束線光斑水平漂移誤差來源的分析及檢測方法,有效保證瞭束線性能的實現.
위제고상해광원탑건적국내수조연X사선보학현미광속선참적정체성능,분석료기분광장치일변포함각평면광책단색의재파장소묘과정중영향보학현미광속선광반수평표이적각개인소,추도출료각인소여광반수평표이적전체관계,병결합구체요구진행료오차분배.침대광반수평각표이중복정도적검측,채용자준직원리,구건료측시계통.이용해계통,완성료보학현미광속선참광반수평표이중복정도적리선검측,기결과위0.67″,만족설계지표1″적요구.대안장조시후적속선진행료총체성능측시,결과균만족보학현미설계화사용요구.유차표명,제출적대보학현미광속선광반수평표이오차래원적분석급검측방법,유효보증료속선성능적실현.
