华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2005年
2期
61-66
,共6页
蒙高庆%陈俊芳%向鹏飞%熊予莹%吴先球%符斯列%张茂平
矇高慶%陳俊芳%嚮鵬飛%熊予瑩%吳先毬%符斯列%張茂平
몽고경%진준방%향붕비%웅여형%오선구%부사렬%장무평
TCP%Langmuir探针%电子束蒸发镀膜
TCP%Langmuir探針%電子束蒸髮鍍膜
TCP%Langmuir탐침%전자속증발도막
利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1 Pa、射频13.56 MHz、功率200 W、加速栅压-200 V和减速栅压+85 V条件下,电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间密度分布,以及不同放电气压和不同偏压下反应室内的等离子体密度分布.通过对反应室中等离子体空间分布的分析,得到离子密度均匀区域、合适的反应气压和合适的加速栅电压、减速栅电压范围.
利用Langmuir探針診斷方法,得到瞭放電氣壓0.1 Pa、射頻13.56 MHz、功率200 W、加速柵壓-200 V和減速柵壓+85 V條件下,電子束蒸髮鍍膜反應室內的等離子體空間密度分佈,以及不同放電氣壓和不同偏壓下反應室內的等離子體密度分佈.通過對反應室中等離子體空間分佈的分析,得到離子密度均勻區域、閤適的反應氣壓和閤適的加速柵電壓、減速柵電壓範圍.
이용Langmuir탐침진단방법,득도료방전기압0.1 Pa、사빈13.56 MHz、공솔200 W、가속책압-200 V화감속책압+85 V조건하,전자속증발도막반응실내적등리자체공간밀도분포,이급불동방전기압화불동편압하반응실내적등리자체밀도분포.통과대반응실중등리자체공간분포적분석,득도리자밀도균균구역、합괄적반응기압화합괄적가속책전압、감속책전압범위.
