真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
5期
353-357
,共5页
张振宇%王胜%梁学磊%陈清
張振宇%王勝%樑學磊%陳清
장진우%왕성%량학뢰%진청
双栅%场效应晶体管%双壁碳纳米管%特性
雙柵%場效應晶體管%雙壁碳納米管%特性
쌍책%장효응정체관%쌍벽탄납미관%특성
构建了以双壁碳纳米管为导电通道、Al2O3和SiO2为绝缘层、Al和Si为栅极、Pd为源和漏电极的双底栅场效应晶体管,测量了晶体管的特性.观测到了双壁碳纳米管的三种典型的输运特性;观测到了两个底栅分别的调制作用;发现两个底栅的调制作用存在着显著的相互影响,使得场效应晶体管的特性明显不同于单栅器件,具备了逻辑"与"门的基本功能;利用能带图分析了双底栅器件的特性.
構建瞭以雙壁碳納米管為導電通道、Al2O3和SiO2為絕緣層、Al和Si為柵極、Pd為源和漏電極的雙底柵場效應晶體管,測量瞭晶體管的特性.觀測到瞭雙壁碳納米管的三種典型的輸運特性;觀測到瞭兩箇底柵分彆的調製作用;髮現兩箇底柵的調製作用存在著顯著的相互影響,使得場效應晶體管的特性明顯不同于單柵器件,具備瞭邏輯"與"門的基本功能;利用能帶圖分析瞭雙底柵器件的特性.
구건료이쌍벽탄납미관위도전통도、Al2O3화SiO2위절연층、Al화Si위책겁、Pd위원화루전겁적쌍저책장효응정체관,측량료정체관적특성.관측도료쌍벽탄납미관적삼충전형적수운특성;관측도료량개저책분별적조제작용;발현량개저책적조제작용존재착현저적상호영향,사득장효응정체관적특성명현불동우단책기건,구비료라집"여"문적기본공능;이용능대도분석료쌍저책기건적특성.
