红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2006年
8期
489-492
,共4页
夏丽昆%侯阳%李银柱%太云见%袁俊%莫启元
夏麗昆%侯暘%李銀柱%太雲見%袁俊%莫啟元
하려곤%후양%리은주%태운견%원준%막계원
铁电材料%激光刻蚀%PID控制技术
鐵電材料%激光刻蝕%PID控製技術
철전재료%격광각식%PID공제기술
国内外已研究的网格化技术包括离子束刻蚀和激光化学辅助刻蚀.由于铁电体材料不易减薄至20μm以下,而且像元中心距也在逐步减小,采用离子束刻蚀技术实施网格化很困难.因此,为实现热释电非制冷焦平面探测器的网格化,减小热串音,提高器件的空间分辨率,采用了一套基于PID微机控制技术的激光化学辅助刻蚀系统对铁电材料进行了网格化刻蚀,较好地解决了大列阵铁电材料探测器的网状技术这一难题.
國內外已研究的網格化技術包括離子束刻蝕和激光化學輔助刻蝕.由于鐵電體材料不易減薄至20μm以下,而且像元中心距也在逐步減小,採用離子束刻蝕技術實施網格化很睏難.因此,為實現熱釋電非製冷焦平麵探測器的網格化,減小熱串音,提高器件的空間分辨率,採用瞭一套基于PID微機控製技術的激光化學輔助刻蝕繫統對鐵電材料進行瞭網格化刻蝕,較好地解決瞭大列陣鐵電材料探測器的網狀技術這一難題.
국내외이연구적망격화기술포괄리자속각식화격광화학보조각식.유우철전체재료불역감박지20μm이하,이차상원중심거야재축보감소,채용리자속각식기술실시망격화흔곤난.인차,위실현열석전비제랭초평면탐측기적망격화,감소열천음,제고기건적공간분변솔,채용료일투기우PID미궤공제기술적격광화학보조각식계통대철전재료진행료망격화각식,교호지해결료대렬진철전재료탐측기적망상기술저일난제.
