微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
1期
1-6
,共6页
崔峰%靖向萌%赵小林%丁桂甫%张卫平%陈文元
崔峰%靖嚮萌%趙小林%丁桂甫%張衛平%陳文元
최봉%정향맹%조소림%정계보%장위평%진문원
微机电系统%SU-8%去胶%高深宽比%桩基
微機電繫統%SU-8%去膠%高深寬比%樁基
미궤전계통%SU-8%거효%고심관비%장기
对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展.最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去胶剥落的桩基形成技术.提出了一种与多层互连电路微制造兼容的金属桩基形成技术,并采用强酸氧化去胶方法在制作有互联电路及薄膜电极的基片上成功地集成了200 μm厚的Ni结构.
對各種去膠技術的原理、優缺點及其適用場閤進行瞭綜述,併結閤本實驗室的電鑄Ni結構去膠試驗,對彊堿鎔鹽浴氧化、彊痠氧化等經濟有效的去膠方法進行瞭有益髮展.最後介紹瞭SU-8輔助去膠技術,如輔助剝離犧牲層技術、輔助電鑄結構牴抗去膠剝落的樁基形成技術.提齣瞭一種與多層互連電路微製造兼容的金屬樁基形成技術,併採用彊痠氧化去膠方法在製作有互聯電路及薄膜電極的基片上成功地集成瞭200 μm厚的Ni結構.
대각충거효기술적원리、우결점급기괄용장합진행료종술,병결합본실험실적전주Ni결구거효시험,대강감용염욕양화、강산양화등경제유효적거효방법진행료유익발전.최후개소료SU-8보조거효기술,여보조박리희생층기술、보조전주결구저항거효박락적장기형성기술.제출료일충여다층호련전로미제조겸용적금속장기형성기술,병채용강산양화거효방법재제작유호련전로급박막전겁적기편상성공지집성료200 μm후적Ni결구.
