压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2009年
2期
161-163
,共3页
熊军%公勋%商晓莉%王耀俊%章德
熊軍%公勛%商曉莉%王耀俊%章德
웅군%공훈%상효리%왕요준%장덕
双延迟线%声表面波(SAW)相速度%测量误差
雙延遲線%聲錶麵波(SAW)相速度%測量誤差
쌍연지선%성표면파(SAW)상속도%측량오차
双延迟线法是测量声表面波(SAW)速度的一种优秀方法,其样品制备工艺成熟,测量和数据处理简单.从原理上消除了换能器的影响,能达到很高精度.主要测量误差源有中心频率和距离的测量误差两个.对此提出了两项改进措施,即对幅频响应数据进行数字滤波后再做插值,以减小中心频率的测量误差;结合光学显微镜大视野和扫描电子显微镜(SEM)高精度的优点,提高距离测量精度.在128°Y-X铌酸锂基片上进行了实验,测量精度达到数米每秒.
雙延遲線法是測量聲錶麵波(SAW)速度的一種優秀方法,其樣品製備工藝成熟,測量和數據處理簡單.從原理上消除瞭換能器的影響,能達到很高精度.主要測量誤差源有中心頻率和距離的測量誤差兩箇.對此提齣瞭兩項改進措施,即對幅頻響應數據進行數字濾波後再做插值,以減小中心頻率的測量誤差;結閤光學顯微鏡大視野和掃描電子顯微鏡(SEM)高精度的優點,提高距離測量精度.在128°Y-X鈮痠鋰基片上進行瞭實驗,測量精度達到數米每秒.
쌍연지선법시측량성표면파(SAW)속도적일충우수방법,기양품제비공예성숙,측량화수거처리간단.종원리상소제료환능기적영향,능체도흔고정도.주요측량오차원유중심빈솔화거리적측량오차량개.대차제출료량항개진조시,즉대폭빈향응수거진행수자려파후재주삽치,이감소중심빈솔적측량오차;결합광학현미경대시야화소묘전자현미경(SEM)고정도적우점,제고거리측량정도.재128°Y-X니산리기편상진행료실험,측량정도체도수미매초.
