光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2009年
3期
80-83
,共4页
红外%规整膜系%长波通滤光片%通带波纹%膜系设计
紅外%規整膜繫%長波通濾光片%通帶波紋%膜繫設計
홍외%규정막계%장파통려광편%통대파문%막계설계
采用了规整膜系作为6.5～14μm红外长波通滤光片正面膜系的初始膜系,针对规整膜系中存在较大通带波纹的现象,利用Macleod光学薄膜分析软件有选择地对部分膜层进行优化.根据优化后的膜系设计结果,采用热电阻真空蒸发镀膜工艺镀制.光谱测试表明,膜系在6.5～14μm工作波段的通带波纹平坦,平均透过率达到88.5%,在3～5.5μm截止范围内Tmax<0.2%,并具有很好的截止带边缘陡度.该膜系具有工艺简单,膜厚监控易于操作的特点,适用于工业大规模生产.
採用瞭規整膜繫作為6.5～14μm紅外長波通濾光片正麵膜繫的初始膜繫,針對規整膜繫中存在較大通帶波紋的現象,利用Macleod光學薄膜分析軟件有選擇地對部分膜層進行優化.根據優化後的膜繫設計結果,採用熱電阻真空蒸髮鍍膜工藝鍍製.光譜測試錶明,膜繫在6.5～14μm工作波段的通帶波紋平坦,平均透過率達到88.5%,在3～5.5μm截止範圍內Tmax<0.2%,併具有很好的截止帶邊緣陡度.該膜繫具有工藝簡單,膜厚鑑控易于操作的特點,適用于工業大規模生產.
채용료규정막계작위6.5～14μm홍외장파통려광편정면막계적초시막계,침대규정막계중존재교대통대파문적현상,이용Macleod광학박막분석연건유선택지대부분막층진행우화.근거우화후적막계설계결과,채용열전조진공증발도막공예도제.광보측시표명,막계재6.5～14μm공작파단적통대파문평탄,평균투과솔체도88.5%,재3～5.5μm절지범위내Tmax<0.2%,병구유흔호적절지대변연두도.해막계구유공예간단,막후감공역우조작적특점,괄용우공업대규모생산.
