分析测试技术与仪器
分析測試技術與儀器
분석측시기술여의기
ANALYSIS AND TESTING TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS
2010年
3期
152-156
,共5页
王雪蓉%魏莉萍%郑会保%刘运传%孟祥艳%周燕萍
王雪蓉%魏莉萍%鄭會保%劉運傳%孟祥豔%週燕萍
왕설용%위리평%정회보%류운전%맹상염%주연평
AlGaN%高分辨X射线衍射%晶格常数%测量偏差
AlGaN%高分辨X射線衍射%晶格常數%測量偏差
AlGaN%고분변X사선연사%정격상수%측량편차
利用高分辨X射线衍射(HRxRD)技术对在蓝宝石衬底上用金属有机化学气相沉积(M0cVD)方法生长的Al组分含量为0.63的AlGaN外延膜进行晶格参数的精确计算.通过对Al0.63Ga0.37N的对称晶面和非对称晶面进行ω/2θ扫描,以及对零点误差和晶面间距的修正,能够计算得到六方晶系Al0.63Ga0.37N外延膜的水平晶格常数a和垂直晶格常数c分别为0.31301 nm和0.505 96 nm.通过对各种影响因素的分析和校正,可以得出二者的测量偏差分别为0.000 01 nm和0.000 02 nm.
利用高分辨X射線衍射(HRxRD)技術對在藍寶石襯底上用金屬有機化學氣相沉積(M0cVD)方法生長的Al組分含量為0.63的AlGaN外延膜進行晶格參數的精確計算.通過對Al0.63Ga0.37N的對稱晶麵和非對稱晶麵進行ω/2θ掃描,以及對零點誤差和晶麵間距的脩正,能夠計算得到六方晶繫Al0.63Ga0.37N外延膜的水平晶格常數a和垂直晶格常數c分彆為0.31301 nm和0.505 96 nm.通過對各種影響因素的分析和校正,可以得齣二者的測量偏差分彆為0.000 01 nm和0.000 02 nm.
이용고분변X사선연사(HRxRD)기술대재람보석츤저상용금속유궤화학기상침적(M0cVD)방법생장적Al조분함량위0.63적AlGaN외연막진행정격삼수적정학계산.통과대Al0.63Ga0.37N적대칭정면화비대칭정면진행ω/2θ소묘,이급대영점오차화정면간거적수정,능구계산득도륙방정계Al0.63Ga0.37N외연막적수평정격상수a화수직정격상수c분별위0.31301 nm화0.505 96 nm.통과대각충영향인소적분석화교정,가이득출이자적측량편차분별위0.000 01 nm화0.000 02 nm.
