人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
1期
253-257
,共5页
泡生法%大尺寸蓝宝石单晶%GMV控制%等径生长
泡生法%大呎吋藍寶石單晶%GMV控製%等徑生長
포생법%대척촌람보석단정%GMV공제%등경생장
在泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的过程中,为了获得高质量的晶体,精确等径控制至关重要.本文根据晶体的重量变化率来控制热场,实现晶体等径生长.设计了应用在线整定多项式权值的广义最小方差(OAPW_GMV)控制方法,并建立了系统模型.该方法的主要思想是根据在线估计的被控对象参数及OAPW_GMV的输出,调整多项式的权值,实现炉内的热场控制.仿真和实验结果表明该控制方法实现了蓝宝石单晶的精确等径控制,有效地提高了蓝宝石单晶的质量.
在泡生法生長大呎吋藍寶石單晶的過程中,為瞭穫得高質量的晶體,精確等徑控製至關重要.本文根據晶體的重量變化率來控製熱場,實現晶體等徑生長.設計瞭應用在線整定多項式權值的廣義最小方差(OAPW_GMV)控製方法,併建立瞭繫統模型.該方法的主要思想是根據在線估計的被控對象參數及OAPW_GMV的輸齣,調整多項式的權值,實現爐內的熱場控製.倣真和實驗結果錶明該控製方法實現瞭藍寶石單晶的精確等徑控製,有效地提高瞭藍寶石單晶的質量.
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