压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2012年
1期
89-92
,共4页
许姣%李俊%张国军%石归雄%张文栋
許姣%李俊%張國軍%石歸雄%張文棟
허교%리준%장국군%석귀웅%장문동
矢量水听器%微机电系统(MEMS)%封装与测试%ANSYS
矢量水聽器%微機電繫統(MEMS)%封裝與測試%ANSYS
시량수은기%미궤전계통(MEMS)%봉장여측시%ANSYS
针对国内对高灵敏、小体积、造价低的矢量水听器迫切应用需求的现状,提出了一种新型的双“T”型微机电系统(MEMS)矢量水听器.该敏感单元结构可一体化加工,且加工成本低,适合大批量生产,易于阵列化.采用ANSYS仿真,得出1阶共振频率为1 840 Hz,压敏电阻位置距离梁根部180 μm.对此结构进行声学封装与测试,测试结果表明,该水听器在1 kHz的灵敏度达到-175 dB,工作频段为100 Hz～4 kHz,具有良好的“8”指向性.
針對國內對高靈敏、小體積、造價低的矢量水聽器迫切應用需求的現狀,提齣瞭一種新型的雙“T”型微機電繫統(MEMS)矢量水聽器.該敏感單元結構可一體化加工,且加工成本低,適閤大批量生產,易于陣列化.採用ANSYS倣真,得齣1階共振頻率為1 840 Hz,壓敏電阻位置距離樑根部180 μm.對此結構進行聲學封裝與測試,測試結果錶明,該水聽器在1 kHz的靈敏度達到-175 dB,工作頻段為100 Hz～4 kHz,具有良好的“8”指嚮性.
침대국내대고령민、소체적、조개저적시량수은기박절응용수구적현상,제출료일충신형적쌍“T”형미궤전계통(MEMS)시량수은기.해민감단원결구가일체화가공,차가공성본저,괄합대비량생산,역우진렬화.채용ANSYS방진,득출1계공진빈솔위1 840 Hz,압민전조위치거리량근부180 μm.대차결구진행성학봉장여측시,측시결과표명,해수은기재1 kHz적령민도체도-175 dB,공작빈단위100 Hz～4 kHz,구유량호적“8”지향성.
