仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2001年
8期
33-34
,共2页
孙承松%魏永广%关艳霞%周立军%温作晓
孫承鬆%魏永廣%關豔霞%週立軍%溫作曉
손승송%위영엄%관염하%주립군%온작효
溅射InSb薄膜%氧化%保护
濺射InSb薄膜%氧化%保護
천사InSb박막%양화%보호
介绍了用RF溅射法制备InSb薄膜时,如何克服In的氧化问题的措施及防止InSb薄膜在热处理过程中继续氧化和挥发的方法.对实验结果进行了电镜和俄歇电子能谱测试分析.结果表明,只要控制好工艺条件,可以获得较好的效果.
介紹瞭用RF濺射法製備InSb薄膜時,如何剋服In的氧化問題的措施及防止InSb薄膜在熱處理過程中繼續氧化和揮髮的方法.對實驗結果進行瞭電鏡和俄歇電子能譜測試分析.結果錶明,隻要控製好工藝條件,可以穫得較好的效果.
개소료용RF천사법제비InSb박막시,여하극복In적양화문제적조시급방지InSb박막재열처리과정중계속양화화휘발적방법.대실험결과진행료전경화아헐전자능보측시분석.결과표명,지요공제호공예조건,가이획득교호적효과.
