CAJ | 학술논문

在比较曲率测量技术常用的Stoney公式及其修正式的基础上,利用有限元分析方法,建立薄膜/基底结构的有限元模型,给出一种薄膜残余应力的等效施加方法,从两个方面详细分析并对比这两个公式在微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)薄膜残余应力测量中的检测精度.仿真及分析结果表明,修正后的Stoney 公式在很大程度上提高薄膜残余应力的测量精度,使曲率测量技术的适用范围得到较大扩展.但是当薄膜厚度接近于基底厚度或结构处于大变形状态下,修正式的计算精度也将受到较大影响,此时可以采用有限元分析方法来获得临界状态值,以提高残余应力的检测精度.同时,通过有限元分析,证实曲率测量技术应用中存在的另一个问题,即曲率的空间分布不均匀性现象.
재비교곡솔측량기술상용적Stoney공식급기수정식적기출상,이용유한원분석방법,건립박막/기저결구적유한원모형,급출일충박막잔여응력적등효시가방법,종량개방면상세분석병대비저량개공식재미궤전계통(Micro electromechanical systems,MEMS)박막잔여응력측량중적검측정도.방진급분석결과표명,수정후적Stoney 공식재흔대정도상제고박막잔여응력적측량정도,사곡솔측량기술적괄용범위득도교대확전.단시당박막후도접근우기저후도혹결구처우대변형상태하,수정식적계산정도야장수도교대영향,차시가이채용유한원분석방법래획득림계상태치,이제고잔여응력적검측정도.동시,통과유한원분석,증실곡솔측량기술응용중존재적령일개문제,즉곡솔적공간분포불균균성현상.