微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
5期
296-300
,共5页
马文英%姚军%任豪%王大甲
馬文英%姚軍%任豪%王大甲
마문영%요군%임호%왕대갑
MEMS%二维扫描镜%模态%动态响应%偏转角
MEMS%二維掃描鏡%模態%動態響應%偏轉角
MEMS%이유소묘경%모태%동태향응%편전각
给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点.推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应.利用POLYMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分析了关键工艺步骤.结合有限元分析软件,对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究.分析结果表明,在120 V和160 V的电压下,扫描镜可分别产生沿X轴方向的±5.0°和沿Y轴方向±4.4°的偏转角.优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下,具有较高的响应速度.
給齣瞭一種靜電驅動二維微掃描鏡的設計和製造方案,所設計的掃描鏡具有繞X軸和y軸轉動的兩箇自由度,併具有體積小、功耗低、頻率高等優點.推導瞭鏡麵鏇轉角錶達式併分析瞭吸閤效應.利用POLYMUMPS工藝完成瞭對掃描鏡的加工,併著重分析瞭關鍵工藝步驟.結閤有限元分析軟件,對微掃描鏡的頻率特性以及靜態鏇轉特性進行瞭分析和研究.分析結果錶明,在120 V和160 V的電壓下,掃描鏡可分彆產生沿X軸方嚮的±5.0°和沿Y軸方嚮±4.4°的偏轉角.優化後的掃描鏡能夠工作在單頻率狀態下,具有較高的響應速度.
급출료일충정전구동이유미소묘경적설계화제조방안,소설계적소묘경구유요X축화y축전동적량개자유도,병구유체적소、공모저、빈솔고등우점.추도료경면선전각표체식병분석료흡합효응.이용POLYMUMPS공예완성료대소묘경적가공,병착중분석료관건공예보취.결합유한원분석연건,대미소묘경적빈솔특성이급정태선전특성진행료분석화연구.분석결과표명,재120 V화160 V적전압하,소묘경가분별산생연X축방향적±5.0°화연Y축방향±4.4°적편전각.우화후적소묘경능구공작재단빈솔상태하,구유교고적향응속도.
