真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
6期
608-613
,共6页
汪志健%王蓬%巩春志%杨士勤%田修波%Ricky Fu
汪誌健%王蓬%鞏春誌%楊士勤%田脩波%Ricky Fu
왕지건%왕봉%공춘지%양사근%전수파%Ricky Fu
等离子体离子注入%粒子模拟%气压%均匀性%注入能量
等離子體離子註入%粒子模擬%氣壓%均勻性%註入能量
등리자체리자주입%입자모의%기압%균균성%주입능량
模具表面改性对提高模具使用寿命和生产率有着十分重要的意义.本文采用二维Particle-in-cell/Monte Carlo collision模型对不同气压下等离子体离子注入处理凹模型腔内表面的鞘层动力学进行研究.考察了气压变化对电势分布、离子运动状态及凹模型腔内表面离子注入剂量、能量和角度分布的影响.计算结果表明随着气压的上升,凹模周围的鞘层厚度变薄;随气压上升,凹模型腔底部和顶部端面离子注入剂量和平均注入能量下降,在型腔侧壁上,离子注入剂量和平均注入能量先上升后下降.注入到型腔侧壁和凹模顶部端面上的离子平均注入角度随气压上升而趋向于垂直入射,型腔底部平均注入角度随气压上升略有增大.研究结果表明通过引入一定的碰撞(变化气压)来改善剂量和能量的均匀性是可行的.
模具錶麵改性對提高模具使用壽命和生產率有著十分重要的意義.本文採用二維Particle-in-cell/Monte Carlo collision模型對不同氣壓下等離子體離子註入處理凹模型腔內錶麵的鞘層動力學進行研究.攷察瞭氣壓變化對電勢分佈、離子運動狀態及凹模型腔內錶麵離子註入劑量、能量和角度分佈的影響.計算結果錶明隨著氣壓的上升,凹模週圍的鞘層厚度變薄;隨氣壓上升,凹模型腔底部和頂部耑麵離子註入劑量和平均註入能量下降,在型腔側壁上,離子註入劑量和平均註入能量先上升後下降.註入到型腔側壁和凹模頂部耑麵上的離子平均註入角度隨氣壓上升而趨嚮于垂直入射,型腔底部平均註入角度隨氣壓上升略有增大.研究結果錶明通過引入一定的踫撞(變化氣壓)來改善劑量和能量的均勻性是可行的.
모구표면개성대제고모구사용수명화생산솔유착십분중요적의의.본문채용이유Particle-in-cell/Monte Carlo collision모형대불동기압하등리자체리자주입처리요모형강내표면적초층동역학진행연구.고찰료기압변화대전세분포、리자운동상태급요모형강내표면리자주입제량、능량화각도분포적영향.계산결과표명수착기압적상승,요모주위적초층후도변박;수기압상승,요모형강저부화정부단면리자주입제량화평균주입능량하강,재형강측벽상,리자주입제량화평균주입능량선상승후하강.주입도형강측벽화요모정부단면상적리자평균주입각도수기압상승이추향우수직입사,형강저부평균주입각도수기압상승략유증대.연구결과표명통과인입일정적팽당(변화기압)래개선제량화능량적균균성시가행적.
