影像技术
影像技術
영상기술
IMAGE TECHNOLOGY
2011年
4期
13-16,12
,共5页
光产酸剂%光致抗蚀剂%硫鎓盐%光解%量子效率
光產痠劑%光緻抗蝕劑%硫鎓鹽%光解%量子效率
광산산제%광치항식제%류옹염%광해%양자효솔
硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中.本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收性质及其光解特性.以低压汞灯为曝光光源,测定了该类光产酸剂的光解量子效率在0.2-0.7范围.
硫鎓鹽類光產痠劑因其較高的產痠效率和好的熱穩定性而廣汎應用于化學增幅光緻抗蝕劑中.本論文選擇不同的酚化閤物為原料,使之與二甲基亞砜和氯化氫反應,閤成瞭一繫列硫鎓鹽化閤物,研究瞭其在有機溶劑中的溶解性、熱穩定性、紫外吸收性質及其光解特性.以低壓汞燈為曝光光源,測定瞭該類光產痠劑的光解量子效率在0.2-0.7範圍.
류옹염류광산산제인기교고적산산효솔화호적열은정성이엄범응용우화학증폭광치항식제중.본논문선택불동적분화합물위원료,사지여이갑기아풍화록화경반응,합성료일계렬류옹염화합물,연구료기재유궤용제중적용해성、열은정성、자외흡수성질급기광해특성.이저압홍등위폭광광원,측정료해류광산산제적광해양자효솔재0.2-0.7범위.
