激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2012年
6期
810-813
,共4页
张宝武%马艳%张萍萍%支理想%李思荣%周晋羽%陈辰%高毓琨
張寶武%馬豔%張萍萍%支理想%李思榮%週晉羽%陳辰%高毓琨
장보무%마염%장평평%지이상%리사영%주진우%진신%고육곤
激光技术%激光驻波场%直边衍射%高斯激光
激光技術%激光駐波場%直邊衍射%高斯激光
격광기술%격광주파장%직변연사%고사격광
为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响,基于标量光学理论,采用数值计算对直边衍射情况下高斯激光驻波场特性进行了仿真.结果表明,高斯激光的直边衍射效应会呈现与平面光波相似的强度振荡现象,两者直边衍射后的第1个强度突变分别为中轴线强度的1.18倍和1.37倍;随着束腰的增大,高斯激光的衍射越接近平面波;中轴线和基片表面距离会影响高斯激光截面进入直边几何阴影之外的大小;直边衍射后入射波和其经过反射镜作用的反射波相遇叠加在光轴方向上会形成稳定的驻波;这种驻波的强度在垂直光轴截面上呈现一定的衍射特性.该研究有利于理解直边衍射时高斯驻波场形成的实质;并可通过适当的激光参量来调整实验激光驻波场结构.
為瞭研究原子光刻實驗中基片對彙聚激光場的影響,基于標量光學理論,採用數值計算對直邊衍射情況下高斯激光駐波場特性進行瞭倣真.結果錶明,高斯激光的直邊衍射效應會呈現與平麵光波相似的彊度振盪現象,兩者直邊衍射後的第1箇彊度突變分彆為中軸線彊度的1.18倍和1.37倍;隨著束腰的增大,高斯激光的衍射越接近平麵波;中軸線和基片錶麵距離會影響高斯激光截麵進入直邊幾何陰影之外的大小;直邊衍射後入射波和其經過反射鏡作用的反射波相遇疊加在光軸方嚮上會形成穩定的駐波;這種駐波的彊度在垂直光軸截麵上呈現一定的衍射特性.該研究有利于理解直邊衍射時高斯駐波場形成的實質;併可通過適噹的激光參量來調整實驗激光駐波場結構.
위료연구원자광각실험중기편대회취격광장적영향,기우표량광학이론,채용수치계산대직변연사정황하고사격광주파장특성진행료방진.결과표명,고사격광적직변연사효응회정현여평면광파상사적강도진탕현상,량자직변연사후적제1개강도돌변분별위중축선강도적1.18배화1.37배;수착속요적증대,고사격광적연사월접근평면파;중축선화기편표면거리회영향고사격광절면진입직변궤하음영지외적대소;직변연사후입사파화기경과반사경작용적반사파상우첩가재광축방향상회형성은정적주파;저충주파적강도재수직광축절면상정현일정적연사특성.해연구유리우리해직변연사시고사주파장형성적실질;병가통과괄당적격광삼량래조정실험격광주파장결구.
