CAJ | 학술논문

利用磁控溅射设备和光刻技术，采用金属等离子体氧化法，设计制作了10μm×15μm的Co／Al2O3／FeNi磁隧道结，并在77K下对其输运特性进行了研究。测得了11％的隧道磁电阻。随着外加电压增加，隧道结的磁电阻单调减小。测量了样品的I-V特性曲线，发现随着外加电压的增加，曲线逐渐偏离线性，电阻变小，这与理论相符合。电阻随温度变化曲线表明电阻随温度升高而减小，而且在210K处有一个拐点。表现出典型的隧穿过程的特征。
이용자공천사설비화광각기술，채용금속등리자체양화법，설계제작료10μm×15μm적Co／Al2O3／FeNi자수도결，병재77K하대기수운특성진행료연구。측득료11％적수도자전조。수착외가전압증가，수도결적자전조단조감소。측량료양품적I-V특성곡선，발현수착외가전압적증가，곡선축점편리선성，전조변소，저여이론상부합。전조수온도변화곡선표명전조수온도승고이감소，이차재210K처유일개괴점。표현출전형적수천과정적특정。