光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2003年
4期
480-484
,共5页
齐红基%程传福%袁景梅%邵建达%范正修
齊紅基%程傳福%袁景梅%邵建達%範正脩
제홍기%정전복%원경매%소건체%범정수
薄膜光学%离子束溅射%钛%薄膜%自仿射分形
薄膜光學%離子束濺射%鈦%薄膜%自倣射分形
박막광학%리자속천사%태%박막%자방사분형
用离子束溅工艺在K9玻璃基片上沉积Ti薄膜,并用原子力显微镜对其表面形貌进行测量,通过数值相关运算,发现在此工艺条件下薄膜生长界面为各向同性的自仿射分形表面,并用粗糙指数、横向相关长度和标准偏差粗糙度对薄膜样品表面进行定量描述.利用自仿射分形表面的相关函数对数值运算的结果进行拟合,得出Ti薄膜生长界面的粗糙度指数α=0.72,相应的分形维数Df=2.28,并由此得到在离子束溅射工艺下Ti薄膜属于守恒生长的结论,其生长动力学过程可用Kuramoto-Sivashinsky方程来描述.
用離子束濺工藝在K9玻璃基片上沉積Ti薄膜,併用原子力顯微鏡對其錶麵形貌進行測量,通過數值相關運算,髮現在此工藝條件下薄膜生長界麵為各嚮同性的自倣射分形錶麵,併用粗糙指數、橫嚮相關長度和標準偏差粗糙度對薄膜樣品錶麵進行定量描述.利用自倣射分形錶麵的相關函數對數值運算的結果進行擬閤,得齣Ti薄膜生長界麵的粗糙度指數α=0.72,相應的分形維數Df=2.28,併由此得到在離子束濺射工藝下Ti薄膜屬于守恆生長的結論,其生長動力學過程可用Kuramoto-Sivashinsky方程來描述.
용리자속천공예재K9파리기편상침적Ti박막,병용원자력현미경대기표면형모진행측량,통과수치상관운산,발현재차공예조건하박막생장계면위각향동성적자방사분형표면,병용조조지수、횡향상관장도화표준편차조조도대박막양품표면진행정량묘술.이용자방사분형표면적상관함수대수치운산적결과진행의합,득출Ti박막생장계면적조조도지수α=0.72,상응적분형유수Df=2.28,병유차득도재리자속천사공예하Ti박막속우수항생장적결론,기생장동역학과정가용Kuramoto-Sivashinsky방정래묘술.
