光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
1期
53-57
,共5页
陈习权%祖小涛%郑万国%蒋晓东%黄祖鑫
陳習權%祖小濤%鄭萬國%蔣曉東%黃祖鑫
진습권%조소도%정만국%장효동%황조흠
表面热透镜技术%光热形变%弱吸收测量%光学薄膜
錶麵熱透鏡技術%光熱形變%弱吸收測量%光學薄膜
표면열투경기술%광열형변%약흡수측량%광학박막
在薄膜特性的研究工作中,激光引起的表面形变是一种广泛应用的技术.在这种技术中,薄膜的形变(热包高度小于0.1 nm)一般是采用光热偏转技术来探测的.介绍了一种通过光学衍射效应来研究薄膜表面形变的新技术即表面热透镜技术,它是研究薄膜特性的一种灵敏且易于控制的方法.探讨了其理论模型及在薄膜的吸收测量和缺陷特性测试方面,该方法相对于传统方法的优点和潜力.
在薄膜特性的研究工作中,激光引起的錶麵形變是一種廣汎應用的技術.在這種技術中,薄膜的形變(熱包高度小于0.1 nm)一般是採用光熱偏轉技術來探測的.介紹瞭一種通過光學衍射效應來研究薄膜錶麵形變的新技術即錶麵熱透鏡技術,它是研究薄膜特性的一種靈敏且易于控製的方法.探討瞭其理論模型及在薄膜的吸收測量和缺陷特性測試方麵,該方法相對于傳統方法的優點和潛力.
재박막특성적연구공작중,격광인기적표면형변시일충엄범응용적기술.재저충기술중,박막적형변(열포고도소우0.1 nm)일반시채용광열편전기술래탐측적.개소료일충통과광학연사효응래연구박막표면형변적신기술즉표면열투경기술,타시연구박막특성적일충령민차역우공제적방법.탐토료기이론모형급재박막적흡수측량화결함특성측시방면,해방법상대우전통방법적우점화잠력.
