物理学报
物理學報
물이학보
2007年
1期
522-528
,共7页
磁性薄膜%Ti90Cr10%界面结合力%Co80Cr20
磁性薄膜%Ti90Cr10%界麵結閤力%Co80Cr20
자성박막%Ti90Cr10%계면결합력%Co80Cr20
用脉冲激光沉积(PLD)的方法在硅单晶基片上制备了Ti90Cr10和Co80Cr20/Ti90Cr10薄膜,用XRD研究了Ti90Cr10薄膜的晶体结构与制备温度的关系,结果表明随着温度升高,薄膜从非晶态逐步向晶态转化,并且计算了Ti90Cr10薄膜的晶粒大小以及晶格常数.利用透射电镜对Ti90Cr10薄膜进行了表面和截面形貌的表征.采用纳米压痕仪对Ti90Cr10薄膜的硬度和膜基界面结合力进行了分析,表明薄膜的硬度和膜基结合力随制备条件改变有所变化,制备温度增加,薄膜的硬度和膜基结合力随之增加.利用Ti90Cr10薄膜作为中间层,用PLD制备了Co80Cr20磁性层,获得了很好的垂直磁化性质,膜厚减小,矫顽力和矩形比有所增加,600℃真空条件下制备的Co80Cr20(8 nm)/Ti90Cr10(14 nm)薄膜的矫顽力为65.25 kA/m,矩形比为0.86,并且讨论了Co80Cr20/Ti90Cr10薄膜的磁化性质.
用脈遲激光沉積(PLD)的方法在硅單晶基片上製備瞭Ti90Cr10和Co80Cr20/Ti90Cr10薄膜,用XRD研究瞭Ti90Cr10薄膜的晶體結構與製備溫度的關繫,結果錶明隨著溫度升高,薄膜從非晶態逐步嚮晶態轉化,併且計算瞭Ti90Cr10薄膜的晶粒大小以及晶格常數.利用透射電鏡對Ti90Cr10薄膜進行瞭錶麵和截麵形貌的錶徵.採用納米壓痕儀對Ti90Cr10薄膜的硬度和膜基界麵結閤力進行瞭分析,錶明薄膜的硬度和膜基結閤力隨製備條件改變有所變化,製備溫度增加,薄膜的硬度和膜基結閤力隨之增加.利用Ti90Cr10薄膜作為中間層,用PLD製備瞭Co80Cr20磁性層,穫得瞭很好的垂直磁化性質,膜厚減小,矯頑力和矩形比有所增加,600℃真空條件下製備的Co80Cr20(8 nm)/Ti90Cr10(14 nm)薄膜的矯頑力為65.25 kA/m,矩形比為0.86,併且討論瞭Co80Cr20/Ti90Cr10薄膜的磁化性質.
용맥충격광침적(PLD)적방법재규단정기편상제비료Ti90Cr10화Co80Cr20/Ti90Cr10박막,용XRD연구료Ti90Cr10박막적정체결구여제비온도적관계,결과표명수착온도승고,박막종비정태축보향정태전화,병차계산료Ti90Cr10박막적정립대소이급정격상수.이용투사전경대Ti90Cr10박막진행료표면화절면형모적표정.채용납미압흔의대Ti90Cr10박막적경도화막기계면결합력진행료분석,표명박막적경도화막기결합력수제비조건개변유소변화,제비온도증가,박막적경도화막기결합력수지증가.이용Ti90Cr10박막작위중간층,용PLD제비료Co80Cr20자성층,획득료흔호적수직자화성질,막후감소,교완력화구형비유소증가,600℃진공조건하제비적Co80Cr20(8 nm)/Ti90Cr10(14 nm)박막적교완력위65.25 kA/m,구형비위0.86,병차토론료Co80Cr20/Ti90Cr10박막적자화성질.
