CAJ | 학술논문

介绍了利用磁控溅射和一种液氮冷却装置,制备非晶态WO3薄膜、非晶态LiNbO3薄膜和纳米微晶态NiOx薄膜的有效方法.进而,使用这种液氮冷却装置,采用全程基片冷却方法,制备了单基片无机全固态智能窗--G│ITO│NiOx│LiNbO3│WO3│ITO器件.实验结果表明,在400～800nm的可见光范围内,该器件经过1000次循环后,它的漂白态透射率为63.0%,而着色态透射率为10.6%,这一初步工作表明,基片冷却方法应该是制备有优异性能的无机全固态电致变色智能窗的有效方法.
개소료이용자공천사화일충액담냉각장치,제비비정태WO3박막、비정태LiNbO3박막화납미미정태NiOx박막적유효방법.진이,사용저충액담냉각장치,채용전정기편냉각방법,제비료단기편무궤전고태지능창--G│ITO│NiOx│LiNbO3│WO3│ITO기건.실험결과표명,재400～800nm적가견광범위내,해기건경과1000차순배후,타적표백태투사솔위63.0%,이착색태투사솔위10.6%,저일초보공작표명,기편냉각방법응해시제비유우이성능적무궤전고태전치변색지능창적유효방법.