南京师大学报（自然科学版）
南京師大學報（自然科學版）
남경사대학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
3期
40-44
,共5页
孔令飞%戴旭涵%苗晓丹%丁桂甫%赵小林
孔令飛%戴旭涵%苗曉丹%丁桂甫%趙小林
공령비%대욱함%묘효단%정계보%조소림
微机电系统%电磁继电器%碰撞%动态测试
微機電繫統%電磁繼電器%踫撞%動態測試
미궤전계통%전자계전기%팽당%동태측시
介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分析了该微电磁继电器的动态特性,探讨了触点间产生碰撞的原因以及消除抖动的方法,为实现下一代体积更小、损耗更低、响应时间更短的继电器打下了良好的基础.
介紹瞭一種集成型雙穩態微電磁繼電器,利用金屬基錶麵微加工技術和體微加工技術成功完成瞭彈簧和起氣隙作用的SU-8墊片的集成製造.用Ansys和Matlab軟件對其進行初步的研究設計倣真,證明瞭設計的可行性.併研究瞭該繼電器的雙穩態性能,分析瞭該微電磁繼電器的動態特性,探討瞭觸點間產生踫撞的原因以及消除抖動的方法,為實現下一代體積更小、損耗更低、響應時間更短的繼電器打下瞭良好的基礎.
개소료일충집성형쌍은태미전자계전기,이용금속기표면미가공기술화체미가공기술성공완성료탄황화기기극작용적SU-8점편적집성제조.용Ansys화Matlab연건대기진행초보적연구설계방진,증명료설계적가행성.병연구료해계전기적쌍은태성능,분석료해미전자계전기적동태특성,탐토료촉점간산생팽당적원인이급소제두동적방법,위실현하일대체적경소、손모경저、향응시간경단적계전기타하료량호적기출.
