真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
6期
593-598
,共6页
汪志健%田修波%王蓬%巩春志%杨士勤%Ricky Fu
汪誌健%田脩波%王蓬%鞏春誌%楊士勤%Ricky Fu
왕지건%전수파%왕봉%공춘지%양사근%Ricky Fu
等离子体离子注入%粒子模拟%脉冲宽度%均匀性%注入能量
等離子體離子註入%粒子模擬%脈遲寬度%均勻性%註入能量
등리자체리자주입%입자모의%맥충관도%균균성%주입능량
模具表面改性日益受到人们重视.本文采用二维Particle-in-cell/Monte Carlo Collision模型对等离子体浸没离子注入处理凹模型腔内表面的鞘层动力学及均匀性进行了研究.考察了电压脉宽对鞘层中电势分布、离子的运动状态以及型腔内表面离子注入剂量、能量和角度的空间分布的影响.结果表明随着电压脉宽的增加,凹模型腔内表面的注入剂量不均匀性增加,同时注入到内表面的高能离子数目也增加.脉冲宽度变化对注入角度影响不大,离子以接近垂直的入射角度注入到型腔底部,而在侧壁上离子注入角度接近45°.当脉冲宽度较大时,发现少部分注入到侧壁上的离子以一定角度从下往上注入到样品表面,这是由于碰撞效应造成的.从能量和剂量的角度,存在一个合适的脉冲宽度,过大的脉宽会引起剂量不均匀性增加,同时离子注入能量也会下降.
模具錶麵改性日益受到人們重視.本文採用二維Particle-in-cell/Monte Carlo Collision模型對等離子體浸沒離子註入處理凹模型腔內錶麵的鞘層動力學及均勻性進行瞭研究.攷察瞭電壓脈寬對鞘層中電勢分佈、離子的運動狀態以及型腔內錶麵離子註入劑量、能量和角度的空間分佈的影響.結果錶明隨著電壓脈寬的增加,凹模型腔內錶麵的註入劑量不均勻性增加,同時註入到內錶麵的高能離子數目也增加.脈遲寬度變化對註入角度影響不大,離子以接近垂直的入射角度註入到型腔底部,而在側壁上離子註入角度接近45°.噹脈遲寬度較大時,髮現少部分註入到側壁上的離子以一定角度從下往上註入到樣品錶麵,這是由于踫撞效應造成的.從能量和劑量的角度,存在一箇閤適的脈遲寬度,過大的脈寬會引起劑量不均勻性增加,同時離子註入能量也會下降.
모구표면개성일익수도인문중시.본문채용이유Particle-in-cell/Monte Carlo Collision모형대등리자체침몰리자주입처리요모형강내표면적초층동역학급균균성진행료연구.고찰료전압맥관대초층중전세분포、리자적운동상태이급형강내표면리자주입제량、능량화각도적공간분포적영향.결과표명수착전압맥관적증가,요모형강내표면적주입제량불균균성증가,동시주입도내표면적고능리자수목야증가.맥충관도변화대주입각도영향불대,리자이접근수직적입사각도주입도형강저부,이재측벽상리자주입각도접근45°.당맥충관도교대시,발현소부분주입도측벽상적리자이일정각도종하왕상주입도양품표면,저시유우팽당효응조성적.종능량화제량적각도,존재일개합괄적맥충관도,과대적맥관회인기제량불균균성증가,동시리자주입능량야회하강.
