CAJ | 학술논문

基于黑硅材料的发展,讨论了国内外在黑硅制备技术方面的研究进展,包括反应离子刻蚀法、飞秒激光脉冲法、电化学刻蚀法及金属辅助刻蚀法,总结了各种工艺在应用上的特点,对黑硅材料当前取得的应用及发展进行了综述.结果表明:黑硅材料的特殊结构能够极大降低硅表面光反射,有效提高硅太阳能电池转换效率;其特殊光敏性可应用于光波探测器;表面各向异性的黑硅在红外吸收中可以产生太赫兹辐射.当前飞秒激光脉冲法制备的黑硅材料体现了很好的光敏性,并且有望直接嵌入目前半导体制造工艺,因此备受青睐,然则其制备成本较高;相比之下,电化学刻蚀法则设备简单、成本较低,亦颇具研究前景.最后,展望了国内黑硅材料的发展趋势.
기우흑규재료적발전,토론료국내외재흑규제비기술방면적연구진전,포괄반응리자각식법、비초격광맥충법、전화학각식법급금속보조각식법,총결료각충공예재응용상적특점,대흑규재료당전취득적응용급발전진행료종술.결과표명:흑규재료적특수결구능구겁대강저규표면광반사,유효제고규태양능전지전환효솔;기특수광민성가응용우광파탐측기;표면각향이성적흑규재홍외흡수중가이산생태혁자복사.당전비초격광맥충법제비적흑규재료체현료흔호적광민성,병차유망직접감입목전반도체제조공예,인차비수청래,연칙기제비성본교고;상비지하,전화학각식법칙설비간단、성본교저,역파구연구전경.최후,전망료국내흑규재료적발전추세.