重庆邮电大学学报(自然科学版)
重慶郵電大學學報(自然科學版)
중경유전대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY OF POSTS AND TELECOMMUNICATIONS(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
4期
467-472
,共6页
位相逆推法%多周期条纹投影法%表面形状测量
位相逆推法%多週期條紋投影法%錶麵形狀測量
위상역추법%다주기조문투영법%표면형상측량
提出了一种基于多周期条纹投影技术和位相逆推法的物体表面形状测量法,该方法通过分析干涉条纹的位相分布来测得物体的表面形状.相对于单波长干涉仪、条纹投影法等其他测量方法而言,多周期条纹投影法不仅具有更高的测量精度和更大的测量范围,而且还可以用来测量非连续表面形状.此外,在多周期条纹投影法的基础上,还介绍了一种新的空间位相分析方法:位相逆推法.运用这种方法测量物体表面形状可以极大提高测量的精度和系统的稳定性.数值仿真及实验表明,由位相过零点所得到的测量值精度高于由振幅最大值所得到的测量值精度;当测量范围为毫米级时,基于多周期条纹投影法的位相逆推法的测量精度可以达到微米级.
提齣瞭一種基于多週期條紋投影技術和位相逆推法的物體錶麵形狀測量法,該方法通過分析榦涉條紋的位相分佈來測得物體的錶麵形狀.相對于單波長榦涉儀、條紋投影法等其他測量方法而言,多週期條紋投影法不僅具有更高的測量精度和更大的測量範圍,而且還可以用來測量非連續錶麵形狀.此外,在多週期條紋投影法的基礎上,還介紹瞭一種新的空間位相分析方法:位相逆推法.運用這種方法測量物體錶麵形狀可以極大提高測量的精度和繫統的穩定性.數值倣真及實驗錶明,由位相過零點所得到的測量值精度高于由振幅最大值所得到的測量值精度;噹測量範圍為毫米級時,基于多週期條紋投影法的位相逆推法的測量精度可以達到微米級.
제출료일충기우다주기조문투영기술화위상역추법적물체표면형상측량법,해방법통과분석간섭조문적위상분포래측득물체적표면형상.상대우단파장간섭의、조문투영법등기타측량방법이언,다주기조문투영법불부구유경고적측량정도화경대적측량범위,이차환가이용래측량비련속표면형상.차외,재다주기조문투영법적기출상,환개소료일충신적공간위상분석방법:위상역추법.운용저충방법측량물체표면형상가이겁대제고측량적정도화계통적은정성.수치방진급실험표명,유위상과영점소득도적측량치정도고우유진폭최대치소득도적측량치정도;당측량범위위호미급시,기우다주기조문투영법적위상역추법적측량정도가이체도미미급.