中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2004年
3期
192-195
,共4页
同步控制%误差补偿%硅片变形%光刻机
同步控製%誤差補償%硅片變形%光刻機
동보공제%오차보상%규편변형%광각궤
在建立光刻机工作台、掩膜台的运动控制模型基础上,提出工作台二级进给控制策略及工作台、掩膜台同步控制策略,并且通过自适应同步控制和逐场对准方式下分段误差校正技术对硅片变形进行补偿.实验证实,当硅片非线性变形占总变形的比例分别为10%、30%、50%时,通过以上方法能够补偿的不同步误差分别为98.4%、96.3%和94.2%.
在建立光刻機工作檯、掩膜檯的運動控製模型基礎上,提齣工作檯二級進給控製策略及工作檯、掩膜檯同步控製策略,併且通過自適應同步控製和逐場對準方式下分段誤差校正技術對硅片變形進行補償.實驗證實,噹硅片非線性變形佔總變形的比例分彆為10%、30%、50%時,通過以上方法能夠補償的不同步誤差分彆為98.4%、96.3%和94.2%.
재건립광각궤공작태、엄막태적운동공제모형기출상,제출공작태이급진급공제책략급공작태、엄막태동보공제책략,병차통과자괄응동보공제화축장대준방식하분단오차교정기술대규편변형진행보상.실험증실,당규편비선성변형점총변형적비례분별위10%、30%、50%시,통과이상방법능구보상적불동보오차분별위98.4%、96.3%화94.2%.
