真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2004年
6期
11-14,18
,共5页
黄开玉%李国卿%柳翠%高景生%宋琦%王丽阁
黃開玉%李國卿%柳翠%高景生%宋琦%王麗閣
황개옥%리국경%류취%고경생%송기%왕려각
掺铒%Al2O3薄膜%光致发光%中频%磁控溅射
摻鉺%Al2O3薄膜%光緻髮光%中頻%磁控濺射
참이%Al2O3박막%광치발광%중빈%자공천사
简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器.
簡述瞭幾種Al2O3薄膜的製備方法,使用中頻孿生靶非平衡磁控濺射繫統製備瞭摻鉺Al2O3薄膜,併對其進行檢測,結果錶明該方法製備的薄膜適于製作光纖放大器.
간술료궤충Al2O3박막적제비방법,사용중빈련생파비평형자공천사계통제비료참이Al2O3박막,병대기진행검측,결과표명해방법제비적박막괄우제작광섬방대기.
