深圳大学学报（理工版）
深圳大學學報（理工版）
심수대학학보（리공판）
JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY (SCIENCE & ENGINEERING)
2007年
2期
159-165
,共7页
谷坤明%汤皎宁%李均钦%杨钦鹏
穀坤明%湯皎寧%李均欽%楊欽鵬
곡곤명%탕교저%리균흠%양흠붕
DLC膜%含金属碳膜%Me-DLC%薄膜改性%薄膜应力缓解
DLC膜%含金屬碳膜%Me-DLC%薄膜改性%薄膜應力緩解
DLC막%함금속탄막%Me-DLC%박막개성%박막응력완해
类金刚石膜中的金属粒子可缓解类金刚石薄膜中由于制备态产生大内应力而导致的膜厚受限这一矛盾,能显著改变薄膜各种性能.述评了金属-类金刚石薄膜的制备工艺、不同金属粒子对DLC薄膜形态、键结构、力学及摩擦磨损性能、物理化学性能等的影响,指出在金属粒子对DLC膜的力学及摩擦学性能的影响方面还有很多待确定的因素.
類金剛石膜中的金屬粒子可緩解類金剛石薄膜中由于製備態產生大內應力而導緻的膜厚受限這一矛盾,能顯著改變薄膜各種性能.述評瞭金屬-類金剛石薄膜的製備工藝、不同金屬粒子對DLC薄膜形態、鍵結構、力學及摩抆磨損性能、物理化學性能等的影響,指齣在金屬粒子對DLC膜的力學及摩抆學性能的影響方麵還有很多待確定的因素.
류금강석막중적금속입자가완해류금강석박막중유우제비태산생대내응력이도치적막후수한저일모순,능현저개변박막각충성능.술평료금속-류금강석박막적제비공예、불동금속입자대DLC박막형태、건결구、역학급마찰마손성능、물이화학성능등적영향,지출재금속입자대DLC막적역학급마찰학성능적영향방면환유흔다대학정적인소.
