纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
2期
81-84
,共4页
闾锦%陈裕斌%潘力佳%濮林%施毅%郑有炓
閭錦%陳裕斌%潘力佳%濮林%施毅%鄭有炓
려금%진유빈%반력가%복림%시의%정유료
非挥发浮栅存储器%PtAu纳米颗粒%反相微乳液%LB膜
非揮髮浮柵存儲器%PtAu納米顆粒%反相微乳液%LB膜
비휘발부책존저기%PtAu납미과립%반상미유액%LB막
将Langmuir-Blodgett(LB)膜等化学方法应用于非挥发浮栅存储器制备工艺中.采用反相微乳液方法合成的分散良好的PtAu纳米颗粒粒径约为5nm,并应用LB膜方法在存储器隧穿氧化层上制备了PtAu纳米颗粒的单层膜.采用SEM对LB膜的表面形貌进行观测,研究了表面压对成膜质量的影响,结果表明在表面压为15 mN/m时可获得密度为1011cm-2均匀分布的PtAu纳米颗粒单层二维阵列,可应用于非挥发性金属纳米颗粒浮栅存储器,并成功拓展了LB膜等化学方法的应用范围.
將Langmuir-Blodgett(LB)膜等化學方法應用于非揮髮浮柵存儲器製備工藝中.採用反相微乳液方法閤成的分散良好的PtAu納米顆粒粒徑約為5nm,併應用LB膜方法在存儲器隧穿氧化層上製備瞭PtAu納米顆粒的單層膜.採用SEM對LB膜的錶麵形貌進行觀測,研究瞭錶麵壓對成膜質量的影響,結果錶明在錶麵壓為15 mN/m時可穫得密度為1011cm-2均勻分佈的PtAu納米顆粒單層二維陣列,可應用于非揮髮性金屬納米顆粒浮柵存儲器,併成功拓展瞭LB膜等化學方法的應用範圍.
장Langmuir-Blodgett(LB)막등화학방법응용우비휘발부책존저기제비공예중.채용반상미유액방법합성적분산량호적PtAu납미과립립경약위5nm,병응용LB막방법재존저기수천양화층상제비료PtAu납미과립적단층막.채용SEM대LB막적표면형모진행관측,연구료표면압대성막질량적영향,결과표명재표면압위15 mN/m시가획득밀도위1011cm-2균균분포적PtAu납미과립단층이유진렬,가응용우비휘발성금속납미과립부책존저기,병성공탁전료LB막등화학방법적응용범위.
