功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2010年
4期
399-402
,共4页
有限单元法%加速度传感器%固有频率%灵敏度分析
有限單元法%加速度傳感器%固有頻率%靈敏度分析
유한단원법%가속도전감기%고유빈솔%령민도분석
应用大型有限元分析软件ANSYS10.0建立了三轴体微机械电容式加速度传感器的有限元模型,以该模型为基础分析了传感器的前3阶固有频率及其振型.分析表明第一、二阶振型分别影响传感器在X和Y方向上的加速度测量,而第三阶振型则影响传感器在Z方向上的加速度测量,且影响程度较大.分析了传感器挠性轴的宽度、高度、长度和质量块的高度及密度等结构参数对传感器主要性能指标的影响程度,所得分析结果可为传感器的减振设计和进一步的优化设计提供理论依据.
應用大型有限元分析軟件ANSYS10.0建立瞭三軸體微機械電容式加速度傳感器的有限元模型,以該模型為基礎分析瞭傳感器的前3階固有頻率及其振型.分析錶明第一、二階振型分彆影響傳感器在X和Y方嚮上的加速度測量,而第三階振型則影響傳感器在Z方嚮上的加速度測量,且影響程度較大.分析瞭傳感器撓性軸的寬度、高度、長度和質量塊的高度及密度等結構參數對傳感器主要性能指標的影響程度,所得分析結果可為傳感器的減振設計和進一步的優化設計提供理論依據.
응용대형유한원분석연건ANSYS10.0건립료삼축체미궤계전용식가속도전감기적유한원모형,이해모형위기출분석료전감기적전3계고유빈솔급기진형.분석표명제일、이계진형분별영향전감기재X화Y방향상적가속도측량,이제삼계진형칙영향전감기재Z방향상적가속도측량,차영향정도교대.분석료전감기뇨성축적관도、고도、장도화질량괴적고도급밀도등결구삼수대전감기주요성능지표적영향정도,소득분석결과가위전감기적감진설계화진일보적우화설계제공이론의거.
