红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2011年
3期
237-241
,共5页
盛明裕%赵源%刘富强%胡巧多%郑玉祥%陈良尧
盛明裕%趙源%劉富彊%鬍巧多%鄭玉祥%陳良堯
성명유%조원%류부강%호교다%정옥상%진량요
等离子体辅助%电子束蒸发%纳光子薄膜
等離子體輔助%電子束蒸髮%納光子薄膜
등리자체보조%전자속증발%납광자박막
SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温度和射频等离子辅助功率)的变化规律,获得了薄膜的机械、化学和光学性能优于传统方法的纳光子薄膜工艺制备条件.
SiO2納光子薄膜在光伏領域、納光子和微電子學領域裏有著廣汎的應用.採用等離子體輔助電子束蒸髮方法在低溫條件下製備SiO2/Si納光子薄膜樣品,通過橢圓偏振光譜分析法研究薄膜光學性質隨3種工藝條件(生長速率、襯底溫度和射頻等離子輔助功率)的變化規律,穫得瞭薄膜的機械、化學和光學性能優于傳統方法的納光子薄膜工藝製備條件.
SiO2납광자박막재광복영역、납광자화미전자학영역리유착엄범적응용.채용등리자체보조전자속증발방법재저온조건하제비SiO2/Si납광자박막양품,통과타원편진광보분석법연구박막광학성질수3충공예조건(생장속솔、츤저온도화사빈등리자보조공솔)적변화규률,획득료박막적궤계、화학화광학성능우우전통방법적납광자박막공예제비조건.
