影像科学与光化学
影像科學與光化學
영상과학여광화학
IMAGING SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2011年
6期
430-437
,共8页
刘娟%孔繁荣%余金星%王力元
劉娟%孔繁榮%餘金星%王力元
류연%공번영%여금성%왕력원
敏化剂%产酸剂%染料%正型%i-线抗蚀剂%酸解%缩醛聚合物
敏化劑%產痠劑%染料%正型%i-線抗蝕劑%痠解%縮醛聚閤物
민화제%산산제%염료%정형%i-선항식제%산해%축철취합물
4,4’-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365 nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和染料组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料,在曝光量为100 mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形.染料与鎓盐光产酸剂组成的感光体系具有很好的漂白性,改善了抗蚀剂材料的透明性.
4,4’-二甲苯基三氟甲磺痠碘鎓鹽可以被染料增感,在365 nm光照時分解產痠.儘管產生的痠與染料的胺基髮生作用,依然能在後烘過程中催化縮醛聚閤物痠敏基糰的分解,但需要稍高的後烘溫度和稍長的後烘時間.基于此,本文將酚醛樹脂、縮醛聚閤物、碘鎓鹽產痠劑和染料組成瞭一種新型的化學增幅型i-線正性光緻抗蝕劑材料,在曝光量為100 mJ/cm2時可得到分辨率為0.8μm的清晰圖形.染料與鎓鹽光產痠劑組成的感光體繫具有很好的漂白性,改善瞭抗蝕劑材料的透明性.
4,4’-이갑분기삼불갑광산전옹염가이피염료증감,재365 nm광조시분해산산.진관산생적산여염료적알기발생작용,의연능재후홍과정중최화축철취합물산민기단적분해,단수요초고적후홍온도화초장적후홍시간.기우차,본문장분철수지、축철취합물、전옹염산산제화염료조성료일충신형적화학증폭형i-선정성광치항식제재료,재폭광량위100 mJ/cm2시가득도분변솔위0.8μm적청석도형.염료여옹염광산산제조성적감광체계구유흔호적표백성,개선료항식제재료적투명성.
