现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2005年
4期
127-130
,共4页
薄膜%应力%测定%原理
薄膜%應力%測定%原理
박막%응력%측정%원리
简介薄膜应力的产生原因,根据薄膜应力测定方法研究的现状,对一些主要测定方法的基本原理及各自的特点进行了综述.
簡介薄膜應力的產生原因,根據薄膜應力測定方法研究的現狀,對一些主要測定方法的基本原理及各自的特點進行瞭綜述.
간개박막응력적산생원인,근거박막응력측정방법연구적현상,대일사주요측정방법적기본원리급각자적특점진행료종술.
