光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
3期
422-427
,共6页
王权岱%段玉岗%丁玉成%关宏武%卢秉恒
王權岱%段玉崗%丁玉成%關宏武%盧秉恆
왕권대%단옥강%정옥성%관굉무%로병항
图像畸变%校正%对正%压印光刻
圖像畸變%校正%對正%壓印光刻
도상기변%교정%대정%압인광각
在综合分析了多种线性及非线性畸变后,建立了三次多项式图像系统畸变模型.采用基于控制点偏差目标函数最小优化法进行畸变模型的求解,并通过计算自标定偏差均方差与互标定偏差均方差对标定结果进行了评定.结果表明,模型求解误差为0.22 μm,通过校正标记图像几何畸变引入的定位误差由2.5 μm降低到0.25 μm,可实现压印对正系统中标记图像几何畸变的校正,实现精确定位.
在綜閤分析瞭多種線性及非線性畸變後,建立瞭三次多項式圖像繫統畸變模型.採用基于控製點偏差目標函數最小優化法進行畸變模型的求解,併通過計算自標定偏差均方差與互標定偏差均方差對標定結果進行瞭評定.結果錶明,模型求解誤差為0.22 μm,通過校正標記圖像幾何畸變引入的定位誤差由2.5 μm降低到0.25 μm,可實現壓印對正繫統中標記圖像幾何畸變的校正,實現精確定位.
재종합분석료다충선성급비선성기변후,건립료삼차다항식도상계통기변모형.채용기우공제점편차목표함수최소우화법진행기변모형적구해,병통과계산자표정편차균방차여호표정편차균방차대표정결과진행료평정.결과표명,모형구해오차위0.22 μm,통과교정표기도상궤하기변인입적정위오차유2.5 μm강저도0.25 μm,가실현압인대정계통중표기도상궤하기변적교정,실현정학정위.
