光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
8期
1384-1388
,共5页
陈强%袁家虎%伍凡%高平起%吴高峰
陳彊%袁傢虎%伍凡%高平起%吳高峰
진강%원가호%오범%고평기%오고봉
光学加工%非球面检验%零补偿检验,补偿器设计%补偿器标梗
光學加工%非毬麵檢驗%零補償檢驗,補償器設計%補償器標梗
광학가공%비구면검험%령보상검험,보상기설계%보상기표경
用于Φ1.2 m F/1.5主镜面形检验的补偿器,需要补偿0.087 mm的非球面度,并满足0.033k(RMS)面形检测要求.介绍了该补偿器的设计、误差分析、加工、标校及最终主镜检测的情况.主镜检测前用计算全息(CGH)对补偿器标校显示:补偿器产生的抛物面面形误差为0.012k(RMS),二次曲面常数K的误差为0.006 4%;主镜最终补偿检测结果为:面形误差0.027k(RMS),二次曲面常数K的误差为0.030 6%,与分析的结果相符.结果表明.补偿器设计合理,建立的误差分析原则和方法可行,加工质量可靠,为更大口径高陡度非球面主镜的补偿检验奠定了坚实基础.
用于Φ1.2 m F/1.5主鏡麵形檢驗的補償器,需要補償0.087 mm的非毬麵度,併滿足0.033k(RMS)麵形檢測要求.介紹瞭該補償器的設計、誤差分析、加工、標校及最終主鏡檢測的情況.主鏡檢測前用計算全息(CGH)對補償器標校顯示:補償器產生的拋物麵麵形誤差為0.012k(RMS),二次麯麵常數K的誤差為0.006 4%;主鏡最終補償檢測結果為:麵形誤差0.027k(RMS),二次麯麵常數K的誤差為0.030 6%,與分析的結果相符.結果錶明.補償器設計閤理,建立的誤差分析原則和方法可行,加工質量可靠,為更大口徑高陡度非毬麵主鏡的補償檢驗奠定瞭堅實基礎.
용우Φ1.2 m F/1.5주경면형검험적보상기,수요보상0.087 mm적비구면도,병만족0.033k(RMS)면형검측요구.개소료해보상기적설계、오차분석、가공、표교급최종주경검측적정황.주경검측전용계산전식(CGH)대보상기표교현시:보상기산생적포물면면형오차위0.012k(RMS),이차곡면상수K적오차위0.006 4%;주경최종보상검측결과위:면형오차0.027k(RMS),이차곡면상수K적오차위0.030 6%,여분석적결과상부.결과표명.보상기설계합리,건립적오차분석원칙화방법가행,가공질량가고,위경대구경고두도비구면주경적보상검험전정료견실기출.
