微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
6期
4-6
,共3页
李晶晶%赵以贵%贾锐%李冬梅%牛洁斌%柯导明%陈军宁
李晶晶%趙以貴%賈銳%李鼕梅%牛潔斌%柯導明%陳軍寧
리정정%조이귀%가예%리동매%우길빈%가도명%진군저
声表面波器件%叉指换能器%X射线光刻%电子束光刻%剥离
聲錶麵波器件%扠指換能器%X射線光刻%電子束光刻%剝離
성표면파기건%차지환능기%X사선광각%전자속광각%박리
提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法.首先利用电子束光刻和微电镀技术制作x射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器.制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中.研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方法.
提供瞭採用電子束光刻、X射線光刻和金屬剝離技術製作亞微米呎吋的聲錶麵波扠指換能器的方法.首先利用電子束光刻和微電鍍技術製作x射線光刻的掩模,然後利用X射線光刻和剝離技術高效地製作大麵積、納米呎電、電極陡直均勻的扠指換能器.製備齣的扠指電極特徵呎吋為600 nm,麵積為4 mm×6 mm,斷指率小于3‰,可應用于高頻聲錶麵波器件中.研究結果錶明,X射線光刻結閤剝離技術是一種製備高頻SAW器件的優良方法.
제공료채용전자속광각、X사선광각화금속박리기술제작아미미척촌적성표면파차지환능기적방법.수선이용전자속광각화미전도기술제작x사선광각적엄모,연후이용X사선광각화박리기술고효지제작대면적、납미척전、전겁두직균균적차지환능기.제비출적차지전겁특정척촌위600 nm,면적위4 mm×6 mm,단지솔소우3‰,가응용우고빈성표면파기건중.연구결과표명,X사선광각결합박리기술시일충제비고빈SAW기건적우량방법.
