云南大学学报
雲南大學學報
운남대학학보
JOURNAL OF YUNNAN UNIVERSITY
1999年
1期
23-26
,共4页
毛旭%李宏宁%杨明光%周祯来%杨宇
毛旭%李宏寧%楊明光%週禎來%楊宇
모욱%리굉저%양명광%주정래%양우
溅射%Ge/Si多层膜%Ar气压强
濺射%Ge/Si多層膜%Ar氣壓彊
천사%Ge/Si다층막%Ar기압강
用射频磁控溅射制备了一系列Ge/Si多层膜,采用X射线小角衍射测量了不同溅射压强下制备的样品,计算出了多层膜的周期.通过计算机模拟实验曲线确定出了Ge和Si的分层厚度,计算出了不同压强下的溅射速率.实验和计算机模拟都表明了在衬底温度为590℃、溅射功率为150W的溅射条件下1.5～2.5Pa氩气压强时制备出的样品周期性、均匀性和平整性都比其它压强下制备的样品好.
用射頻磁控濺射製備瞭一繫列Ge/Si多層膜,採用X射線小角衍射測量瞭不同濺射壓彊下製備的樣品,計算齣瞭多層膜的週期.通過計算機模擬實驗麯線確定齣瞭Ge和Si的分層厚度,計算齣瞭不同壓彊下的濺射速率.實驗和計算機模擬都錶明瞭在襯底溫度為590℃、濺射功率為150W的濺射條件下1.5～2.5Pa氬氣壓彊時製備齣的樣品週期性、均勻性和平整性都比其它壓彊下製備的樣品好.
용사빈자공천사제비료일계렬Ge/Si다층막,채용X사선소각연사측량료불동천사압강하제비적양품,계산출료다층막적주기.통과계산궤모의실험곡선학정출료Ge화Si적분층후도,계산출료불동압강하적천사속솔.실험화계산궤모의도표명료재츤저온도위590℃、천사공솔위150W적천사조건하1.5～2.5Pa아기압강시제비출적양품주기성、균균성화평정성도비기타압강하제비적양품호.
