真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
2期
146-149
,共4页
陈小锰%邓新绿%张治国%刘天伟%丁万昱%徐军
陳小錳%鄧新綠%張治國%劉天偉%丁萬昱%徐軍
진소맹%산신록%장치국%류천위%정만욱%서군
类金刚石膜%朗缪尔探针%微波电子回旋共振%等离子体密度%电子温度
類金剛石膜%朗繆爾探針%微波電子迴鏇共振%等離子體密度%電子溫度
류금강석막%랑무이탐침%미파전자회선공진%등리자체밀도%전자온도
为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系.DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长.本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响.
為瞭解併優化在微波ECR等離子體增彊化學氣相沉積製備類金剛石膜工藝研究中的等離子體特性,利用朗繆爾探針法繫統地測量瞭等離子體密度(Ne)、電子溫度(Te)隨工作氣壓(p)變化的關繫.DLC膜的結構和性能依賴于沉積條件,提高等離子體密度有利于DLC膜的生長.本文示齣瞭不同的CH4流量時,DLC膜的拉曼光譜和錶麵均方根粗糙度Rrms變化麯線,闡述瞭等離子體密度Ne、電子溫度Te對DLC膜結構和性能的影響.
위료해병우화재미파ECR등리자체증강화학기상침적제비류금강석막공예연구중적등리자체특성,이용랑무이탐침법계통지측량료등리자체밀도(Ne)、전자온도(Te)수공작기압(p)변화적관계.DLC막적결구화성능의뢰우침적조건,제고등리자체밀도유리우DLC막적생장.본문시출료불동적CH4류량시,DLC막적랍만광보화표면균방근조조도Rrms변화곡선,천술료등리자체밀도Ne、전자온도Te대DLC막결구화성능적영향.
