半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2006年
1期
143-149
,共7页
姜政%丁桂甫%王艳%张东梅%王志明%冯建智
薑政%丁桂甫%王豔%張東梅%王誌明%馮建智
강정%정계보%왕염%장동매%왕지명%풍건지
永磁%双稳态%MEMS%微继电器
永磁%雙穩態%MEMS%微繼電器
영자%쌍은태%MEMS%미계전기
在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构.该双稳态结构尺寸为1.9mm×1.6mm×0.03mm,通过永磁力实现稳态姿态无功耗保持,通过对其单侧触点施加纵向驱动力使之达到30μm的纵向驱动位移,可以实现机构的双稳态姿态切换,可以通过控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩.此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器.
在進行理論分析證實可行性和模擬倣真優化參數後,利用非硅錶麵微加工方法中的犧牲層工藝製備瞭一種扭樑懸臂樑支撐的扭襬式MEMS永磁雙穩態機構.該雙穩態結構呎吋為1.9mm×1.6mm×0.03mm,通過永磁力實現穩態姿態無功耗保持,通過對其單側觸點施加縱嚮驅動力使之達到30μm的縱嚮驅動位移,可以實現機構的雙穩態姿態切換,可以通過控製永磁體磁片、懸臂樑和扭樑的呎吋來靈活調控穩態切換所需的驅動力矩.此雙穩態機構可與電磁驅動、電熱驅動和靜電驅動等類型的微驅動器聯用構成永磁雙穩態MEMS微繼電器.
재진행이론분석증실가행성화모의방진우화삼수후,이용비규표면미가공방법중적희생층공예제비료일충뉴량현비량지탱적뉴파식MEMS영자쌍은태궤구.해쌍은태결구척촌위1.9mm×1.6mm×0.03mm,통과영자력실현은태자태무공모보지,통과대기단측촉점시가종향구동력사지체도30μm적종향구동위이,가이실현궤구적쌍은태자태절환,가이통과공제영자체자편、현비량화뉴량적척촌래령활조공은태절환소수적구동력구.차쌍은태궤구가여전자구동、전열구동화정전구동등류형적미구동기련용구성영자쌍은태MEMS미계전기.
