传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
314-317
,共4页
杨晨%刘锋%任天令%刘理天%Albert Wang%岳振星
楊晨%劉鋒%任天令%劉理天%Albert Wang%嶽振星
양신%류봉%임천령%류리천%Albert Wang%악진성
铁氧体%电感%射频集成电路
鐵氧體%電感%射頻集成電路
철양체%전감%사빈집성전로
本文报道了采用新型"纳米颗粒一光刻胶"混合旋涂技术制作的片上射频Ni-Zn铁氧体磁膜微电感.成相良好的Ni0.3Zn0.6Cu0.1Fe2O4铁氧体纳米颗粒在光刻胶中均匀混合,再将该混合物涂覆在螺旋电感线圈上,实现电感性能的提升.这种新型低温工艺避免了常规制作铁氧体器件方法带来的高温处理(>600℃)对集成电路的破坏.与无磁膜覆盖样品对比,铁氧体覆盖电感的电感量在0.1～4 GHz提升了14～27%.这是实现高性能、全兼容铁氧体集成片上RF IC电感的一种很有前景的途径.
本文報道瞭採用新型"納米顆粒一光刻膠"混閤鏇塗技術製作的片上射頻Ni-Zn鐵氧體磁膜微電感.成相良好的Ni0.3Zn0.6Cu0.1Fe2O4鐵氧體納米顆粒在光刻膠中均勻混閤,再將該混閤物塗覆在螺鏇電感線圈上,實現電感性能的提升.這種新型低溫工藝避免瞭常規製作鐵氧體器件方法帶來的高溫處理(>600℃)對集成電路的破壞.與無磁膜覆蓋樣品對比,鐵氧體覆蓋電感的電感量在0.1～4 GHz提升瞭14～27%.這是實現高性能、全兼容鐵氧體集成片上RF IC電感的一種很有前景的途徑.
본문보도료채용신형"납미과립일광각효"혼합선도기술제작적편상사빈Ni-Zn철양체자막미전감.성상량호적Ni0.3Zn0.6Cu0.1Fe2O4철양체납미과립재광각효중균균혼합,재장해혼합물도복재라선전감선권상,실현전감성능적제승.저충신형저온공예피면료상규제작철양체기건방법대래적고온처리(>600℃)대집성전로적파배.여무자막복개양품대비,철양체복개전감적전감량재0.1～4 GHz제승료14～27%.저시실현고성능、전겸용철양체집성편상RF IC전감적일충흔유전경적도경.
