功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
2期
394-398
,共5页
李佳言%张金龙%戴昌贤%林秋丰%傅龙明
李佳言%張金龍%戴昌賢%林鞦豐%傅龍明
리가언%장금룡%대창현%림추봉%부룡명
甲醛%氧化镍薄膜%微传感器
甲醛%氧化鎳薄膜%微傳感器
갑철%양화얼박막%미전감기
本文的目的在于优化甲醛气体传感器.微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材,白金(Pt)被当作微型加热器电阻来加热感测层,并以氧化镍(NiO)薄膜作为感测层.当环境内有甲醛气体存在时,NiO薄膜层上导电度会增加,因而导致感测层电阻值降低.此微传感器,膜厚为0.34μm,在300℃反应时间只需6秒,灵敏度可达13.5 kΩ/ppb,最低侦测限度可以量测到40 ppb. 而本研究中针对不同的甲醛气体浓度,分别添加金当其催化剂、玻璃基材上共溅镀氧化镍与氧化铝、并比较有无指叉电极、改变基材温度…等,以提升其氧化镍薄膜感测性能.
本文的目的在于優化甲醛氣體傳感器.微型甲醛氣體傳感器設計是以石英玻璃噹作基材,白金(Pt)被噹作微型加熱器電阻來加熱感測層,併以氧化鎳(NiO)薄膜作為感測層.噹環境內有甲醛氣體存在時,NiO薄膜層上導電度會增加,因而導緻感測層電阻值降低.此微傳感器,膜厚為0.34μm,在300℃反應時間隻需6秒,靈敏度可達13.5 kΩ/ppb,最低偵測限度可以量測到40 ppb. 而本研究中針對不同的甲醛氣體濃度,分彆添加金噹其催化劑、玻璃基材上共濺鍍氧化鎳與氧化鋁、併比較有無指扠電極、改變基材溫度…等,以提升其氧化鎳薄膜感測性能.
본문적목적재우우화갑철기체전감기.미형갑철기체전감기설계시이석영파리당작기재,백금(Pt)피당작미형가열기전조래가열감측층,병이양화얼(NiO)박막작위감측층.당배경내유갑철기체존재시,NiO박막층상도전도회증가,인이도치감측층전조치강저.차미전감기,막후위0.34μm,재300℃반응시간지수6초,령민도가체13.5 kΩ/ppb,최저정측한도가이량측도40 ppb. 이본연구중침대불동적갑철기체농도,분별첨가금당기최화제、파리기재상공천도양화얼여양화려、병비교유무지차전겁、개변기재온도…등,이제승기양화얼박막감측성능.
